半導體有機排氣成分有哪些（廢氣種類介紹）
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半導體有機排氣是半導體製造過程中產生的一種廢氣。那麼，半導體有機排氣成分有哪些？本文為您提供的是半導體有機廢氣種類介紹。
半導體有機排氣成分有哪些
半導體有機排氣成分如下：
半導體行業中使用的清洗劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等溶劑中含有大量有機物成分，在製程工藝過程中，這些有機溶劑大部分通過揮發成為廢氣排放，主體是VOCs，其廢氣的成分主要是非甲烷總烴。
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